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施設運転情報[NPF]

2F実験室ガス配管工事のお知らせ(工事期間2/3〜7)。

掲載日:2025年1月30日


NPF 2F実験室NPF118 新規XPS装置へ供給するガス配管工事を実施します。

・施工に伴いアンカー打ちや壁・天井への固定架台取付作業が発生します。SPM等振動の影響が出る機器の利用はなるべくこの期間を避けて下さい。

・NPF074 既設のXPSに供給しているAr, Heの供給配管を切り替えるため、Arイオン銃によるスパッタが使用できなくなる期間が生じます。

・施工期間中は、部材や工具類の仮置きを行いますので、245室側出入り口の利用は控えて下さい。

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