筑波大学、物質・材料研究機構、東京工業大学、東京大学、東北大学、産業技術総合研究所は、文部科学省委託事業である「ナノテクノロジープラットフォーム事業」の一環として、「電子ビーム露光とレーザービーム描画によるグレースケール露光」というテーマで2021年2月24日（水）オンラインセミナーを開催します。

前半は電子ビーム露光技術とそのアプリケーション事例について、後半はレーザービーム描画によるグレースケール３D露光技術について紹介いたします。

産学官いずれのご所属の方にも奮ってのご参加をお待ちしています。