産業技術総合研究所、物質・材料研究機構、東京工業大学、北海道大学は、令和３年度からスタートした文部科学省委託事業である「マテリアル先端リサーチインフラ事業」及び「ナノテクノロジープラットフォーム事業」の一環として、『ALDによる成膜技術』というテーマで、オンラインによる技術セミナーを2021年12月22日（水）に開催します。
　 ALDによる成膜アプリケーションと、サーマル／プラズマによる各ALD装置、及び様々なプリカーサー材料について紹介いたします。 産学官いずれのご所属の方にも奮ってのご参加をお待ちしています。