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概要

 産業技術総合研究所、物質・材料研究機構、東京工業大学、北海道大学は、令和3年度からスタートした文部科学省委託事業である「マテリアル先端リサーチインフラ事業」の一環として、『ALDによる成膜技術』というテーマで、オンラインによる技術セミナーを2021年12月22日(水)に開催します。
  ALDによる成膜アプリケーションと、サーマル/プラズマによる各ALD装置、及び様々なプリカーサー材料について紹介いたします。 産学官いずれのご所属の方にも奮ってのご参加をお待ちしています。

講演

【日時】
令和3年12月22日(水)12:55~17:30
【場所】
Teamsによるオンライン開催
会議招待メールを後日参加者にお送りします。
【参加費】
無料
【定員】
100名(先着順、参加登録をお願いします)
【登録】
参加申込ページから行って下さい。

主催・協賛

【主催】
産業技術総合研究所 TIA推進センター ナノプロセシング施設(NPF)
【主催】
物質材料研究機構微細加工プラットフォーム
【主催】
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
【主催】
北海道大学 電子科学研究所ナノテク連携推進室
【共催】
ナノエレクトロニクス計測分析技術研究会(TSC)
【協賛】
TIA共用施設ネットワークマネジメントグループ