装置の紹介[NPF]

【NPF014】有機ドラフトチャンバー_1


名称 【NPF014】有機ドラフトチャンバー_1
メーカー オリエンタル技研工業(株)
導入年月日
仕様 EBリソグラフィ用のレジスト塗布、現像、剥離等の有機洗浄プロセスにご利用いただけます。。

・付帯設備:純水、窒素ガスブロー、イエローライト、局所排気、【NPF113】スピンコーター(EB)
・使用薬品:リソグラフィーに用いるレジスト、レジスト現像液、リンス液、剥離液、及び、IPA、エタノール、アセトンなどの有機溶剤
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