装置の紹介[NPF]
【NPF103】原子層堆積装置_3付帯XPS装置（アルバック・ファイ)
| 名称 | 【NPF103】原子層堆積装置_3付帯XPS装置（アルバック・ファイ) |
|---|---|
| メーカー | アルバック・ファイ |
| 導入年月日 | 2021-12-10 |
| 仕様 | エックス線光電子分光装置。ALD成膜装置に接続されているため、前処理による試料表面の自然酸化物の除去の確認や、プリカーサー分子の吸着状態、また成膜した膜組成のin-situ分析が行えます。最小径7.5μmのX線ビームによる微小部分析とSXI(Scanning X-ray induced secondary electron Image)イメージングが可能です。解析ソフトウェアPHI-MulitPakが付属しており、元素の同定、組成比解析、ケミカルシフトによる結合状態解析、SXIイメージング像による元素マッピング等の解析が可能です。 ・型式:Quantera II ・試料サイズ:4インチφ ・X線源:単色化Al kα(ローランド直径 200 mm) ・光電子分光器:静電半球型(軌道直径279.4 mm) ・検出器:マルチチャネル検出器 (32 ch) ・スペクトル分析:0〜1467 eV ・イメージング:最小ビーム径7.5μm, 最大走査範囲1.4 mmx1.4 mmのSXIイメージング ・最小スペクトル分析面積:7.5μmφ (20% - 80%knife edge法) ・エネルギ分解能:0.48 eV（Ag 3d5/2光電子ピーク半値幅） ・帯電中和:10 eV以下電子と5〜10 eV Arイオン同時照射 ・光電子取り出し角度:45°(標準) |
