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装置の紹介[ANCF]

超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡装置


名称 超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡装置
メーカー 産総研自主開発
導入年月日 2016-04-01
仕様  高感度、高分解能の超伝導検出器を搭載した、蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡。
 電子線で試料上を走査する際に放出される蛍光X線を測定することにより、主に軽元素の分布状態を評価できる。

・蛍光X線エネルギー範囲:100eV-2keV
・エネルギー分解能:~7 eV@400 eV X-ray
・計数率:200 kcps   
・走査型電子顕微鏡:HITACHI S-4500
・加速器電圧範囲:500V-30kV
・最大サンプルサイズ:1インチ
・電子ビームサイズ(最適値):3.5nm at 30 kV, 25 nm at 1kV
・機械式ヘリウム3冷凍機を用いて簡単に冷却でき、長時間の測定可能