装置の紹介[ANCF]
超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡装置
| 名称 | 超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡装置 |
|---|---|
| メーカー | 産総研自主開発 |
| 導入年月日 | 2016-04-01 |
| 仕様 | 高感度、高分解能の超伝導検出器を搭載した、蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡。 電子線で試料上を走査する際に放出される蛍光X線を測定することにより、主に軽元素の分布状態を評価できる。 ・蛍光X線エネルギー範囲：100eV-2keV ・エネルギー分解能：～7 eV@400 eV X-ray ・計数率：200 kcps ・走査型電子顕微鏡：HITACHI S-4500 ・加速器電圧範囲：500V-30kV ・最大サンプルサイズ：1インチ ・電子ビームサイズ（最適値）：3.5nm at 30 kV, 25 nm at 1kV ・機械式ヘリウム3冷凍機を用いて簡単に冷却でき、長時間の測定可能 |
