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装置の紹介[ANCF]

リアル表面プローブ顕微鏡


名称 リアル表面プローブ顕微鏡
メーカー JEOL, SII
導入年月日 2012-07-01
仕様 当施設のプローブ顕微鏡は、2台のプローブ顕微鏡群から成る装置群です。

(1)リアル表面プローブ顕微鏡群1 (旧・ANCF007)

原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡
・型式: JEOL JSPM5400、E-SWEEP他
・設置室名: 2-1D棟125室
・測定機能: AM-AFM、FM-AFM、コンタクトモード、STM、KPFM、EFM
・測定環境: 大気中、液中、真空中(10-5 [Torr])、超高真空(10-10 [Torr]、使用機能に制限あり)
・温度範囲: 室温~ 300 ℃(ヒータのみ、制御なし)
・試料サイズ: 最大300 mmウエハー(測定手法によっては寸法(1mm角等)や厚さの制限有)
・液中リアルタイム測定可能(毎秒10フレーム)

(2)リアル表面プローブ顕微鏡群2 (旧・ANCF008)

SIIナノテクノロジ S-ImageおよびE-SWEEP
・測定機能: AM-AFM、コンタクトモード、STM、KFM、Conductive-AFM
・制御装置: 1台のNanonaviをS-ImageおよびE-SWEEPで切り替えて利用
・測定環境: 大気中、恒湿度雰囲気(20~70%)、液中、真空中(10E-5[Torr])
・温度範囲(E-SWEEP): -100 ℃ ~ 300 ℃(ヒータのみ、制御なし)
・試料サイズ: 最大15 mm角程度

前処理装置等
・標準試料: 探針評価、スケール、段差等
・研磨機、プラズマクリーナ、白色干渉計、反射分光膜厚計、化学ドラフト