施設運転情報[NPF]
スクラバー等定期自主検査に伴い 10/22(火)終日装置利用停止
掲載日:2024年10月1日
スクラバー等定期自主検査に伴い10/22(火)終日下記の装置が利用停止となります。
【NPF018】反応性イオンエッチング装置(RIE)
【NPF019】多目的エッチング装置(ICP-RIE)
【NPF030】プラズマCVD薄膜堆積装置
【NPF031】原子層堆積装置_1[FlexAL]
【NPF081】プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN)
【NPF082】化合物半導体エッチング装置(ICP-RIE)
【NPF099】サムコ原子層堆積装置_2[AD-100LP]
【NPF101】Si深掘エッチング装置[PlasmaPro_100]
【NPF105】ピュアオゾン供給装置
また、停止、立ち上げに時間を要する機器に関しては、別途担当スタッフにて予約を取らせていだきます。
ご迷惑をおかけいたしますが、ご理解賜りますよう、お願い申し上げます。