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マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)

お知らせ

2026年3月9日: 【応用物理学会2026春季】ALD実験知見検索システムのデモンストレーションのご案内（3/16-3/18）

2026年2月16日: ナノプロセシング施設　令和8年度課題登録開始について

2026年1月20日: 【ARIMセミナー2月25日開催】電子線・光リソグラフィ技術

2025年12月18日: 【産総研内部利用者】2025年度第4四半期の利用料予算振替の期限について

2025年10月27日: ARIM構造化データ共用サービス、本格始動

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施設運転情報

メンテナンス2026年2月23日: 純水装置更新作業のため断水

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