装置の紹介[NPF] 一覧

装置名
【NPF001】電子ビーム描画装置 (CRESTEC)
【NPF003】イオンコーター(2F)
【NPF004】電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM]
【NPF005】低真空走査電子顕微鏡
【NPF006】マスクレス露光装置
【NPF008】スピンコーター(フォト)
【NPF009】コンタクトマスクアライナー[MJB4]
【NPF010】反転露光用全面UV照射装置
【NPF011】i線露光装置
【NPF012】ドラフトチャンバー(右)
【NPF013】ドラフトチャンバー(左)
【NPF014】有機ドラフトチャンバー_1
【NPF015】酸アルカリドラフトチャンバー_1
【NPF016】スターラーウォーターバス[SWB-10L-1]
【NPF017】スマートウォーターバス[TB-1N](フォト)
【NPF018】反応性イオンエッチング装置 (RIE)
【NPF019】多目的エッチング装置(ICP-RIE)
【NPF021】プラズマアッシャー
【NPF022】UVオゾンクリーナー
【NPF023】電子ビーム真空蒸着装置
【NPF024】抵抗加熱型真空蒸着装置
【NPF025】スパッタ成膜装置(芝浦)
【NPF029】メッキ装置
【NPF030】プラズマCVD薄膜堆積装置
【NPF031】原子層堆積装置_1[FlexAL]
【NPF032】クロスセクションポリッシャ(ALD付帯)
【NPF033】アルゴンミリング装置
【NPF034】集束イオンビーム加工観察装置(FIB)
【NPF035】イオンスパッタ(FIB付帯)
【NPF038】二次イオン質量分析装置(D-SIMS)
【NPF039】オゾンクリーナー(SIMS付帯)
【NPF041】ウェハー酸化炉
【NPF042】クリーンオーブン
【NPF044】マッフル炉
【NPF045】触針式段差計
【NPF046】走査プローブ顕微鏡SPM_1[NanoscopeⅣ/Dimension3100]
【NPF047】走査プローブ顕微鏡SPM_2[SPM-9600/9700]
【NPF048】ナノサーチ顕微鏡SPM_3[SFT-3500]
【NPF049】ナノプローバ[N-6000SS]
【NPF050】四探針プローブ抵抗測定装置
【NPF051】デバイスパラメータ評価装置
【NPF052】デバイス容量評価装置
【NPF053】ワイヤーボンダー(2F)
【NPF054】ダイシングソー
【NPF055】スクライバー
【NPF056】研磨機
【NPF057】ラッピングマシン(CMP)
【NPF060】短波長レーザー顕微鏡[VK-9700]
【NPF061】短波長レーザー顕微鏡[OLS-4100]
【NPF063】分光エリプソメータ
【NPF064】解析用PC(分光エリプソメータ用)
【NPF065】顕微レーザーラマン分光装置(RAMAN)
【NPF066】顕微フーリエ変換赤外分光装置(FT-IR)
【NPF067】解析用PC(CADおよびSPM, FT-IR, RAMAN用)
【NPF068】磁気特性測定システム(MPMS)
【NPF070】X線回折装置(XRD)
【NPF071】薄膜エックス線回折装置
【NPF072】微小部蛍光X線分析装置
【NPF073】解析用PC(CADおよびX線用)
【NPF074】エックス線光電子分光分析装置(XPS)
【NPF075】解析用PC(XPS用)
【NPF076】解析用PC(一般解析用)_1
【NPF077】解析用PC(一般解析用)_2
【NPF078】解析用PC(一般解析用)_3
【NPF079】解析用PC(一般解析用)_4
【NPF080】ヘリウムイオン顕微鏡
【NPF081】プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN)
【NPF082】化合物半導体エッチング装置(ICP-RIE)
【NPF084】デジタルマイクロスコープ
【NPF085】物理特性測定装置(PPMS)
【NPF086】マニュアルウェハープローバー(2F)
【NPF088】電界放出形走査電子顕微鏡[S4500_FE-SEM] (2F)
【NPF089】赤外線ランプ拡散炉(RTA)
【NPF091】自動塗布現像装置
【NPF092】高圧ジェットリフトオフ装置
【NPF093】高速電子ビーム描画装置(エリオニクス)
【NPF094】解析用PC(CAD及び近接効果補正用)
【NPF095】RF-DCスパッタ成膜装置(芝浦)
【NPF096】単波長エリプソメータ
【NPF098】ECRスパッタ成膜・ミリング装置
【NPF099】サムコ原子層堆積装置_2[AD-100LP]
【NPF100】解析用PC(L-Edit レイアウト・エディタ)
【NPF101】Si深堀エッチング装置〔PlasmaPro_100〕
【NPF102】原子層堆積装置_3〔FlexAL〕
【NPF103】原子層堆積装置_3付帯XPS装置(アルバック・ファイ)
【NPF104】原子層堆積装置_4〔FlexAL〕
【NPF105】ピュアオゾン供給装置
【NPF106】小型自動現像装置
【NPF107】3次元電界放出形走査電子顕微鏡(エリオニクス)
【NPF108】イオンコーター(エリオニクス)
【NPF109】6インチ電子ビーム真空蒸着装置(アールデック)
【NPF110】レーザー描画装置〔DWL66+〕
【NPF111】酸アルカリドラフトチャンバー_2
【NPF112】有機ドラフトチャンバー_2
【NPF113】スピンコーター(EB)

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