装置の紹介[NPF]

【NPF049】ナノプローバ[N-6000SS]


名称 【NPF049】ナノプローバ[N-6000SS]
メーカー 株式会社日立ハイテクノロジーズ
導入年月日
仕様 冷陰極電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)による高倍率観察下でのプロービングが可能です。半導体デバイス等の配線・電極やCNT及び1次元ナノワイヤー等のナノ材料に直接プローブを接触させ、電気特性を評価することができる装置です。プローブユニットは6本で、様々な測定ニーズに合わせて使用出きます。

・型式:N-6000SS
・試料サイズ:15mm×15mm、厚さ1mm以下
・試料ステージ:加熱・冷却機能付(-40~150°C)
・可動範囲:15mm×15mm以上
・付加機能:EBAC(Electron Beam Absorbed Current)
プローブユニット
・ユニット数:6本(探針数)
・駆動方式:ピエゾ素子使用
・微動範囲:5um(X,Y軸)
・粗動範囲:5mm(X,Y軸)
電子光学系
・電子銃:冷陰極電界放出型電子顕微鏡
・加速電圧:0.5~5kV (※EBACモード:最大30kV)
・イメージシフト:±100um以上(2kV、WD=15mm)
デバイスアナライザ
・型式:B1500(Agilent製)
・モジュール:B1520A MFCMU [1KHz~5MHz CV機能]
B1517A HRSMU [100mA/42V 電流/電圧出力、1fA/0.5uV電流/電圧測定分解能]
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