装置の紹介[NPF]
【NPF049】ナノプローバー[N-6000SS]
| 名称 | 【NPF049】ナノプローバー[N-6000SS] |
|---|---|
| メーカー | 株式会社日立ハイテクノロジーズ |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | 冷陰極電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）による高倍率観察下でのプロービングが可能です。半導体デバイス等の配線・電極やCNT及び１次元ナノワイヤー等のナノ材料に直接プローブを接触させ、電気特性を評価することができる装置です。プローブユニットは6本で、様々な測定ニーズに合わせて使用出きます。 ・型式:N-6000SS ・試料サイズ:15mm×15mm、厚さ1mm以下 ・試料ステージ:加熱・冷却機能付(-40～150°C) ・可動範囲:15mm×15mm以上 ・付加機能:EBAC（Electron Beam Absorbed Current） プローブユニット ・ユニット数:6本（探針数） ・駆動方式:ピエゾ素子使用 ・微動範囲:5um（X,Y軸） ・粗動範囲:5mm（X,Y軸） 電子光学系 ・電子銃:冷陰極電界放出型電子顕微鏡 ・加速電圧:0.5～5kV （※EBACモード:最大30kV） ・イメージシフト:±100um以上（2kV、WD=15mm） デバイスアナライザ ・型式:B1500（Agilent製） ・モジュール:B1520A MFCMU [1KHz～5MHz CV機能] B1517A HRSMU [100mA/42V 電流/電圧出力、1fA/0.5uV電流/電圧測定分解能] |
