装置の紹介[NPF]

【NPF029】メッキ装置

名称	【NPF029】メッキ装置
メーカー	株式会社山本鍍金試験器
導入年月日
仕様	2インチ、4インチウエハ対応の小型めっき装置です。濾過や加熱、エアー撹拌を行いながらめっきが可能です。微細配線やパンプ用の無光沢銅めっきが行えます。また通常のスルーホールめっきにも使用出来ます。電源は最大電流10Aに対して、最小分解能が1mAの高性能なプログラマブル電源です。・試料サイズ:2インチ、4インチφ ・水槽:4インチウエハ用アクリル製二重底タイプ、浴容量 4L ・ヒーター:ウエハ水槽用ヒーター 100V,100W ・陽極板:含燐銅・濾過器:ミニフィルター20APFA型(PTFEチューブ/4.8 (dm3/min.)/0.5umカートリッジタイプ) ・揺動装置:4インチ用パドル撹拌装置(回転数表示式) ・電源:入力電圧 AC100～200V±10%(50/60Hz±5%) ・出力電圧 DC 0～15V ・出力電流 0～10A ・最小分解能 10mV,1mA,0.1mC ・温度調整機能 1KW(ON/OFF PID制御) ・めっき液:微細配線、パンプ用無光沢硫酸銅(XP-CS) ・その他:筆めっき用にリード線付き筆具(筆先カーボン)あり ※ 同時に『【NPF111】酸アルカリドラフトチャンバー_2』の予約も必要です。