装置の紹介[NPF]

【NPF021】プラズマアッシャー


名称 【NPF021】プラズマアッシャー
メーカー ヤマト科学
導入年月日
仕様 この装置は、石英チャンバー内で酸素プラズマを発生させることにより、フォトレジスト等の有機物をCO2とH2Oに分解・酸化させて除去するものです。

・型式:PR500
・高周波電源:500W
・反応槽:石英チャンバー 215 mmφ×305 mmt
・放電時間設定:0.1秒~999時間
・使用ガス:O2、パージ用N2ガス
ポータルへ戻る