装置の紹介[NPF]
【NPF009】コンタクトマスクアライナー[MJB4]
| 名称 | 【NPF009】コンタクトマスクアライナー[MJB4] |
|---|---|
| メーカー | SUSS MicroTec |
| 導入年月日 | 2011-02-24 |
| 仕様 | 5種類の露光モードを持ち、ミクロン域の露光や高精度なアライメント露光が可能な、コンタクト方式の高性能手動マスクアライナーです。基板は4インチウェハまで対応し、破片状の小片基板なども処理できます。フォトマスクは、ホルダーのガイド位置を変えれば、2.5～5インチマスクまで取り付けることが可能です。 ・型式:MJB4 ・基板サイズ:2インチφ～4インチφ、不定形小片～100mm ・解像度:約800nm (バキュームコンタクト使用時) ・波長:g線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm) ・照度 :約25mW/cm² ・露光モード:プロキシミティ、ソフトコンタクト、 ハードコンタクト、ソフトバキュームコンタクト、 バキュームコンタクト ・露光領域:2.5～5インチ対応マスクホルダー(最大40mm□) 4インチ, 5インチ対応マスクホルダー 最大110mmφ |
