装置の紹介[NPF]

【NPF107】3次元電界放出形走査電子顕微鏡(エリオニクス)


名称 【NPF107】3次元電界放出形走査電子顕微鏡(エリオニクス)
メーカー エリオニクス
導入年月日 2021-12-10
仕様 本装置は、電界放出型電子銃を備えた走査電子顕微鏡である。試料台にはリタ―ディング電圧が印加可能で、減速静電レンズ効果による低ランディング・エネルギーでの解像性向上が確保されている。また、独立した2次電子検出器が4つ備わり、それぞれの検出器で収集した2次電子電流の加算・減算演算に基づく3次元立体画像の取得ができる。

・型式:ERA-9200
・試料サイズ:4インチφ, 16mmt
・電子銃:ZrO/Wショットキ―電界放射型
・加速電圧:1~30 kV
・リタ―ディング電圧:3kV
・分解能:0.4nm以下(30keV)、0.5nm以下(15keV)、0.7nm以下(1keV)
・可動範囲:30×50mm(X-Y)、1~30mm(Z)、-5~45°(Tilt)
・検出器:2次電子検出器(4本)

関連画像

 

 

 

 

 

 

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