装置の紹介[NPF]

【NPF061】短波長レーザー顕微鏡[OLS-4100]

名称	【NPF061】短波長レーザー顕微鏡[OLS-4100]
メーカー	オリンパス
導入年月日
仕様	非接触でサンプルの3次元表面形状の観察・測定が可能なレーザー顕微鏡です。共焦点機能により1nmの高さ分解能を有し、複雑な微細形状の測定や斜面の観察性に優れています。電動ステージを搭載し、XY軸の移動精度が高いことが特徴です。また、マッピング機能が付いてるので、従来より速く広い範囲の画像取得ができるようになりました。透明膜対応フィルターにより、透明膜の測定にも有効です。・型式:OLS4100 ・試料サイズ:100mmφ ・倍率:最大17280倍・高さ測定範囲:10mm ・XYステージ:100mm×100mm（電動ステージ）・表示分解能:0.001μm ・フレームピクセル数:4096×4096 ・光学ズーム:1x～8x ・測定レーザー:波長405nm、最大出力1mW ・微分干渉ユニット:微分干渉スライダ（U-DICR）、偏光板ユニット内蔵