装置の紹介[NPF]
【NPF054】ダイシングソー
| 名称 | 【NPF054】ダイシングソー |
|---|---|
| メーカー | ディスコ |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | この装置は、シリコンウエハーを希望する大きさに切断するものです。ウエハーは試料台の上にバキューム固定します。切断する大きさを各方向(x軸、y軸、z軸)の移動パラメータとして設定しておけば切断作業は自動的に行われます。ワークサイズは220 mm (x)×160 mm (y)です。切断は円形の刃(ブレード)を高速回転させて加工します。この装置では、多段カットも可能です。ブレードを交換することで石英などのSi以外の薄板も切断できます。 ・型式:DAD522 ・最大ワーク寸法:152.4 mm ・切削可能範囲:220 mm (x)×160 mm (y) ・x方向送り速度:毎秒0.3～300 mm ・y方向位置決め精度:0.005 mm ・z方向有効ストローク:26.7 mm |
