装置の紹介[NPF]

【NPF074】エックス線光電子分光分析装置(XPS)


名称 【NPF074】エックス線光電子分光分析装置(XPS)
メーカー KRATOS ANALYTICAL / ㈱島津製作所
導入年月日 2011-03-31
仕様 エックス線光電子分光装置。試料の組成や元素の結合状態などの分析が可能です。

・型式:KRATOS ANALYTICAL
・試料サイズ: 100 mmφ、, 高さ10mm (専用ホルダ使用で約20mm迄可)
・X線源:Rowland 円直径 500mm モノクロメータ付Al Kα (1486.6 eV)
・光電子分光器:軌道半径165mm 静電二重半球型アナライザー/球面鏡アナライザー複合型
・検出器:ディレイラインディテクター(DLD)システム
・スペクトル分析:100チャネル同時計測
・イメージング:256×256画素(最大分解能3μm)
・最小スペクトル分析面積:15μmΦ
・エネルギ分解能:0.48 eV以下(Ag 3d5/2光電子ピーク半値幅)
・帯電中和 均一低エネルギー電子照射
・光電子取り出し角度:垂直(標準)、0~90°(傾斜観察ホルダ使用)
 * 傾斜観察時は試料サイズの制限があります。
・エッチングイオン銃:Ar+、多原子(コロネンC24H12 )イオン
・搭載オプション:He紫外線光源(UPS用 21.2, 40.2 eV)
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