装置の紹介[NPF]

【NPF033】アルゴンミリング装置


名称 【NPF033】アルゴンミリング装置
メーカー 伯東
導入年月日
仕様 イオンガンで発生させたArイオンビームを加速し、試料に照射することでエッチング(ミリング)を行います。反応性イオンエッチング(RIE)装置などに比べ、雰囲気が一桁低い圧力(10^-2 Pa台)でエッチングが行えます。

・型式:3-IBE
・試料サイズ:4インチ
・ビーム直径:3 cmφ
・ビーム加速電圧:500, 300 V
・イオン電流密度:1 mA/cm2(入射角度0°の時)
・試料室の真空度: ~3×10^-2 Pa
・導入ガス:Ar, N2(パージガス)
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