装置の紹介[NPF]

【NPF094】解析用PC（CAD及び近接効果補正用）

名称	【NPF094】解析用PC（CAD及び近接効果補正用）
メーカー
導入年月日
仕様	CAD及び近接効果補正などの電子ビーム描画データの補正処理が可能です。電子ビーム描画用ソフトウェアであるドイツGenISys社のBeamerがインストールされています。さまざまなレイアウトがインポート／エクスポートできる他、優れた近接効果補正、パターン分割最適化処理、輪郭分離処理などが可能です。