装置の紹介[NPF]

【NPF012】ドラフトチャンバー(右)


名称 【NPF012】ドラフトチャンバー(右)
メーカー 株式会社ダルトン
導入年月日
仕様 フォトリソグラフィー用のレジスト現像、剥離等の有機洗浄プロセスにご利用いただけます。

・付帯設備:純水、窒素ガスブロー、イエローライト、局所排気、【NPF017】スマートウォーターバス
・使用薬品:リソグラフィーに用いるレジスト現像液、リンス液、剥離液、及び、IPA、エタノール、アセトンなどの有機溶剤
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