装置の紹介[NPF]
【NPF050】四探針プローブ抵抗測定装置
| 名称 | 【NPF050】四探針プローブ抵抗測定装置 |
|---|---|
| メーカー | ケースレーインスツルメンツ株式会社, 株式会社共和理研 |
| 導入年月日 | 2005-10-31 |
| 仕様 | 2つの探針に定電流を流し、他の2つの探針に生じる電圧を計測し、V/I×係数 でシート抵抗を求める４探針シート抵抗測定装置です。薄膜用(150μmR)とバルク用(40μmR)の専用プローブがあります。自動計測プログラムを用いると定電流の極性を変えて電圧計測オフセットをキャンセルしながら電流を自動スキャンするため、簡単に有効な測定結果が得られる電流を見つけることができます。 ・型式:K-89PS40μR, K-89PS150μR ・試料サイズ: 4インチ□ ・プローブ材質:タングステンカーバイト ・針間:1mm ・プローブ径:40μm, 150μm ・針圧:約800g, 約200g ・ステージZ軸移動:40mm(ラックピニオン式) ・針圧調整:ウエイト加減方式 ・デジタルソースメータ(抜粋) 最大印加電圧 ±210V, 電流 ±1.05A(MAX 21V), ±1.05mA(MAX 210V) 最小設定分解能 5μV(200mVレンジ), 50 pA(1μAレンジ) |
