装置の紹介[NPF]

【NPF003】イオンコーター (FIB付帯) (2F)


名称 【NPF003】イオンコーター (FIB付帯) (2F)
メーカー 日立ハイテクノロジーズ
導入年月日
仕様 集束イオンビーム加工観察において、熱伝導性の悪い試料の昇華や融解による形状変形、及び熱改質の防止、試料表面へのイオン注入による汚染、イオンビーム照射による表面改質の防止、電気伝導性の悪い試料の加工や観察中の帯電障害(チャージアップ)を防止するため、PtコーティングやCコーティングを行う装置です。2F実験室に設置。

・型式:E-1030
・試料サイズ::55 mmφ, 20 mmt
・放電方式:ダイオード放電マグネトロン形(電場・磁場直交形)
・電極形状:対向平行円板(マグネット埋込み)
・電圧: 0.4 kV(固定)
・電流:電流DC 0~35 mA(リミット回路付き)
・コーティングレート:6.5 nm/m (Pt)
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