装置の紹介[NPF]

【NPF035】イオンコーター (SEM付帯) (2F)


名称 【NPF035】イオンコーター (SEM付帯) (2F)
メーカー 日立ハイテクノロジーズ
導入年月日
仕様 走査電子顕微鏡観察において、導電性の悪い試料を観察する際の帯電障害(チャージアップ)を防止するために、Ptコーティングをするための装置です。2F実験室に設置。

・試料サイズ:60mmφ、20mm
・放電方式:ダイオード放電マグネトロン形(電場・磁場直交形)
・電極形状:対向平行円板(マグネット埋込み)
・電圧:DC 0.4 kV
・電流:DC 15 mA, 35 mA
・コーティングレート: Pt 7nm/m, 15nm/m
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