NPF:ナノプロセシング施設
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【NPF082】化合物半導体エッチング装置(ICP-RIE) 利用停止
【NPF081】プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN) 利用停止
2026年電気設備定期点検のための計画停電に伴う施設利用停止
有機ドラフト他の一時利用停止(局所排気装置メンテナンス)
【NPF102】原子層堆積装置_3[FlexAL] 利用停止 期間未定