NPF：ナノプロセシング施設
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純水装置メンテナンスのため断水【11/14 9:00～】
【NPF082】化合物エッチング装置 利用停止
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【NPF085】2ndインピーダンスチューブつまり解消のため液体ヘリウムを枯らします。
