NPF：ナノプロセシング施設
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施設運転情報[NPF] 一覧
【NPF081】プラズマCVD薄膜堆積装置（SiN）利用再開
【装置停止情報】有機ドラフト（リソ用）他の一時利用停止（局所排気装置対象法定点検）（5/8 停止装置追加）
新規装置の紹介
