NPF:ナノプロセシング施設
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施設運転情報[NPF] 一覧
【NPF081】プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN)利用再開
【装置停止情報】有機ドラフト(リソ用)他の一時利用停止(局所排気装置対象法定点検)(5/8 停止装置追加)
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