施設運転情報[NPF] 一覧
- 新設自動現像装置関連の排気ダクトと電源工事(EBリソ現像室)
- 【NPF042】クリーンオーブンの供用廃止
- 2024年 夏休み期間中の消灯時刻変更について【8/5~8/23】
- Pライン停止に伴う装置停止 8/2(金)
- 【NPF105】ピュアオゾン供給装置 オゾン分解触媒交換作業 7月下旬再開予定
- 【NPF102】原子層堆積装置_3[FlexAL] 利用停止 ~7月下旬予定
- 【NPF099】サムコ原子層堆積装置_2[AD-100LP] 利用再開 7月22日~
- 【NPF001】電子ビーム描画装置(CRESTEC)の運用終了と移設について
- 【NPF104】原子層堆積装置_4[FlexAL] 利用再開 7月19日