NPF：ナノプロセシング施設
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施設運転情報[NPF] 一覧
純水装置更新作業のため断水
純水装置タンク洗浄のため断水【3/11 9:00～3日間】
【NPF038】二次イオン質量分析装置（D-SIMS）帯電中和機能故障による試料受け入れ制限に関して(年度内目処の修理完了まで)。
