施設運転情報[NPF]
2024年度下期 作業環境測定の実施【2/26 9:30~】
掲載日:2025年1月23日
2024年度下期の作業環境測定が下記の日程で行われます。
日時: 2025年2月26日(水) 9:30~ 120分程度
場所: CR2、CR3、EBリソ現像室、酸ドラフト前付近、EB蒸着装置前付近
影響を受ける装置:
・【NPF023】電子ビーム真空蒸着装置
・【NPF014】【NPF112】有機ドラフトチャンバー
・【NPF015】【NPF111】酸アルカリドラフトチャンバー
・【NPF012】【NPF013】ドラフトチャンバー(右)(左)
・CR3室のドラフト
利用停止になる装置はありません。
日常の作業状態の測定を目的としているので通常通りご利用ください。
周囲に三脚を立てて測定器を配置するため、往来にご注意ください。
NPF事務局
