純水装置タンク洗浄のため断水【3/26 9:00～3日間】

掲載日：2025年2月26日

純水装置定期メンテナンスのため、下記の時間帯に大部分の超純水供給が止まります。

日時: 2025年3月26日(水) 9:00～ 28日(金) 17:00　３日間
場所: CR1、CR2、CR3、CR4、EBリソ現像室

影響を受ける装置：
・【NPF015】【NPF111】酸アルカリドラフトチャンバー
・【NPF014】【NPF112】有機ドラフトチャンバー
・【NPF012】【NPF013】ドラフトチャンバー(右)(左)
・【NPF054】ダイシングソー
・【NPF091】自動塗布現像装置
・【NPF092】高圧ジェットリフトオフ装置
・ＣＲ３室のドラフト

断水期間中利用停止になる装置：
・【NPF054】ダイシングソー
・【NPF091】自動塗布現像装置
・【NPF092】高圧ジェットリフトオフ装置

純水タンク洗浄を行いますので、純水・超純水の供給すべてが止まります。
ドラフトの利用停止は行いませんが、断水期間中はポリタンクに汲み置きの水
になりますので、簡単な洗浄のみ使用可とし、希釈・調合にはご利用できません。

なお、CR1(酸アルカリドラフト)は、同期間に別の改修工事によって利用停止中です。

純水装置担当：中島、佐藤