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施設運転情報[NPF]

【NPF001】電子ビーム描画装置(CRESTEC)の運用終了と移設について

掲載日:2024年5月16日


この度、【NPF001】電子ビーム描画装置(CRESTEC)の運用は7月末までで停止することになりました。

長期間、ご利用いただきましてありがとうございました。

なお、電子ビーム描画装置は【NPF093】高速電子ビーム描画装置(エリオニクス)と
準備中の新規装置が引き続き供用継続しますのでご利用ください。

NPF事務局

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