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施設運転情報[NPF]

【NPF031】原子層堆積装置_1[FlexAL] TMP交換作業、チャンバークリーニング作業 7/1~7/19

掲載日:2024年5月31日


【NPF031】原子層堆積装置_1[FlexAL] のTMP取り付け作業等およびチャンバークリーニングのため、装置の利用を停止します。前後は、混雑が予想されます。

詳細は担当者までお問い合わせください。

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