産業技術総合研究所、東京工業大学、物質・材料研究機構、北海道大学は、令和3 年度からスタートした文部科学省委託事業である「マテリアル先端リサーチインフラ」の一環として、『電子ビーム露光技術 ～進化する電子ビーム露光装置～』と題して技術セミナーを2024年 2月28日（水）にハイブリッド開催いたします。新規に開発された電子ビーム（EB)露光装置の紹介に加え、各機関の共用施設でのEB描画の事例を紹介いたします。産学官いずれのご所属の方にも奮ってのご参加をお待ちしております。
また、本セミナーではEB露光実習コースをご用意致しました。実習コースについてもご参加をお待ちしております。2023年度 第2回ARIM量子・電子マテリアル領域セミナー
電子ビーム露光技術
～進化する電子ビーム露光装置～
概要
講演
- 【日時】
- 2024年2月28日（水）12:55～17:00
- 【オンサイト会場】
- 産業技術総合研究所つくば中央2-12棟第6会議室
- 【オンライン】
- Microsoft Teamsによるウェビナー配信
（参加申込者へ別途URLをお送りいたします。）
- 【定員】
- オンサイト：80 名、オンライン：200名
(先着順、参加登録をお願いします)
- 【セミナー案内/申し込み】
- 申し込みページから行って下さい。
- 【参加費】
- 無料
- 【連絡先メールアドレス】
- tia-npf-school2@aist.go.jp
- 【実習コース】
- 実習コースは、実習コースのページをご覧ください。
主催・共催・協賛
- 【共催】
- 産業技術総合研究所ナノプロセシング施設運営室（NPF）
- 【共催】
- 物質・材料研究機構 微細加工ユニット
- 【共催】
- 東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
- 【共催】
- 北海道大学 創成研究機構 ナノテクノロジー連携研究推進室
- 【協賛】
- 日本電子株式会社
- 【協賛】
- 株式会社エリオニクス
- 【協賛】
- GenISys株式会社
お問い合わせ
e-mail：tia-npf-school2@aist.go.jp