装置の紹介[NPF]
【NPF088】電界放出形走査電子顕微鏡[S4500_FE-SEM](2F)
名称 | 【NPF088】電界放出形走査電子顕微鏡[S4500_FE-SEM](2F) |
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メーカー | 日立ハイテクノロジーズ |
導入年月日 | |
仕様 | 細く絞った電子線を試料表面上に走査し、試料から放出される二次電子信号を検出することで、表面の凹凸や材質の違いなどを像として表示し、微細加工後の形状観察・評価が行えます。試料を傾けることにより三次元形状を把握することも可能です。 ・型式:S-4500 ・試料サイズ:50 mmφ ・電子銃:冷陰極電界放出型電子銃 ・加速電圧:0.5~30 kV ・分解能:1.5 nm (加速電圧15 kV, WD = 4 mm) ・試料ステージ制御:5軸モーター制御 ・可動範囲:X:0~25 mm、Y:0~25 mm、Z:3~28 mm、R:360°、T:-5~45° ・検出器:2次電子検出器(2系統) |