装置の紹介[NPF]

【NPF088】電界放出形走査電子顕微鏡[S4500_FE-SEM] (2F)


名称 【NPF088】電界放出形走査電子顕微鏡[S4500_FE-SEM] (2F)
メーカー 日立ハイテクノロジーズ
導入年月日
仕様 細く絞った電子線を試料表面上に走査し、試料から放出される二次電子信号を検出することで、表面の凹凸や材質の違いなどを像として表示し、微細加工後の形状観察・評価が行えます。試料を傾けることにより三次元形状を把握することも可能です。

・型式:S-4500
・試料サイズ:50 mmφ
・電子銃:冷陰極電界放出型電子銃
・加速電圧:0.5~30 kV
・分解能:1.5 nm (加速電圧15 kV, WD = 4 mm)
・試料ステージ制御:5軸モーター制御
・可動範囲:X:0~25 mm、Y:0~25 mm、Z:3~28 mm、R:360°、T:-5~45°
・検出器:2次電子検出器(2系統)
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