装置の紹介[NPF]
【NPF057】ラッピングマシン(CMP)
| 名称 | 【NPF057】ラッピングマシン(CMP) |
|---|---|
| メーカー | ㈱ナノファクター |
| 導入年月日 | 2005-02-18 |
| 仕様 | CMP研磨を行います。 ・型式:NF-300 ・試料サイズ: 100 mmφ ・研磨定盤外径:300mmφ ・定盤回転速度:10-100 rpm ・研磨剤自動供給装置付き ・強制駆動エアプレス試料支持機構付き |
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| 名称 | 【NPF057】ラッピングマシン(CMP) |
|---|---|
| メーカー | ㈱ナノファクター |
| 導入年月日 | 2005-02-18 |
| 仕様 | CMP研磨を行います。 ・型式:NF-300 ・試料サイズ: 100 mmφ ・研磨定盤外径:300mmφ ・定盤回転速度:10-100 rpm ・研磨剤自動供給装置付き ・強制駆動エアプレス試料支持機構付き |