装置の紹介[NPF]

【NPF057】ラッピングマシン(CMP)


名称 【NPF057】ラッピングマシン(CMP)
メーカー ㈱ナノファクター
導入年月日 2005-02-18
仕様 CMP研磨を行います。

・型式:NF-300
・試料サイズ: 100 mmφ
・研磨定盤外径:300mmφ
・定盤回転速度:10-100 rpm
・研磨剤自動供給装置付き
・強制駆動エアプレス試料支持機構付き
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