純水装置メンテナンスのため断水【11/14 9:00～】

掲載日：2025年10月24日

純水装置定期メンテナンスのため、下記の時間帯に一部の超純水供給が止まります。

日時: 2025年11月14日(火) 9:00～13:00
場所: CR2、CR3、CR4、EBリソ現像室

影響を受ける装置：
・【NPF014】【NPF112】有機ドラフトチャンバー(EB)
・【NPF012】【NPF013】有機ドラフトチャンバー(フォト)
・【NPF091】自動塗布現像装置
・【NPF092】高圧ジェットリフトオフ装置
・ＣＲ３室のドラフト

利用停止になる装置：
・【NPF054】ダイシングソー

超純水カートリッジ交換を行いますので、CR1を除く全エリアへの超純水供給が止まります。
純水タンク直結供給の装置はタンク保有分の利用はできますが節水にご協力お願いします。


装置担当：中島