【装置停止情報】有機ドラフト（リソ用）他の一時利用停止（局所排気装置対象法定点検）

掲載日：2025年4月24日

NPFユーザ各位

局所排気装置（有機ドラフト）の法定点検による局所排気が一時停止します。そのため、下方の有機ドラフト（6台）他（2台）の利用ができません。
リソグラフィー作業ができなくなるなどご迷惑をおかけしますが、ご容赦くだい。
ご質問・ご相談は、装置担当・事務局にご相談ください。

2025年5月28日（水）13:00-16:30

停止するドラフトの場所と装置名
CR2
【NPF012】有機ドラフトチャンバー_右（フォト）
【NPF013】有機ドラフトチャンバー_左（フォト）
【NPF091】自動塗布現像装置
【NPF092】高圧ジェットリフトオフ装置

CR3
i線露光装置作業用ドラフト　2台

EBリソ現像室（CR1）
【NPF014】有機ドラフトチャンバー_右（EB)
【NPF112】有機ドラフトチャンバー_左（EB)


【影響を受けるプロセス】
CR１、２、３でのマスクレス・EB露光装置でのリソグラフィ作業

装置担当者：杉山・郭・増田・鈴木・木塚・中島
事務局：tia-npf-ml@aist.go.jp

以上、宜しくお願いします。