【装置一時停止　6月19-23日】　インフラガス供給ラインメンテナンスのため装置運転一時停止

掲載日：2025年6月3日

NPF利用者各位

次の期間、NPFがある2-12棟では、6月20日（金）にインフラ側から供給される窒素と圧縮空気がメンテナンスのため停止します。
よって、次の期間、NPFの多くの機器(リソ、成膜、加工、評価装置）が停止します。前後の日の利用もできない場合が多くなります。恐縮ですが、NPF装置予約システムならびに各装置担当者に詳細は質問してください。

6月19日（木）～　6月20日（金）復旧17:00以降
（6月23日も立ち上がっていない装置がある可能性があります）

NPF事務局