【NPF038】二次イオン質量分析装置（D-SIMS）帯電中和機能故障による試料受け入れ制限に関して(年度内目処の修理完了まで)。

掲載日：2026年1月6日

NPF038 D-SIMS (PHI-ADEPT1010)の帯電中和用電子銃のフィラメントが断線しております。
年度内修理を目処に手配予定ですがその間絶縁性試料と傾斜条件での小さな領域を狙っての測定はできません。

※絶縁性基板上の導電性薄膜の測定であれば薄膜部分のみの測定は可能です。その場合は、基板に到達して薄膜の導電性が得られなくなった時点で各質量数のプロットが急速に低下します。