Pライン停止に伴う装置停止 6/18(木)

掲載日：2026年5月11日

6月18日(木)に、施設の圧縮空気配管の気密試験を実施するため、圧縮空気・圧縮窒素の供給が停止します。

一部の装置を除き大部分の装置利用が停止されますのでご承知置き下さい。

点検実施日 : 6月18日(木) 9:00～19:00
点検対象棟 : 2-12棟
供給停止ガス: 窒素、圧縮空気

対象装置は既にメンテナンス予約済となっております。

個別にコンプレッサを使用しているFE-SEM, FIB, ダイシングソーなどは利用できます。

また、停止、立ち上げに時間を要する機器に関しては、別途担当スタッフにて予約を取らせていだきます。ご迷惑をおかけいたしますが、ご理解賜りますよう、お願い申し上げます。

NPF事務局