【NPF031】原子層堆積装置_1[FlexAL] オゾン供給機能追加について　利用停止6/15（月）～　6/23（火）

掲載日：2026年6月5日

【NPF031】原子層堆積装置_1[FlexAL]に【NPF105】ピュアオゾン供給装置からの供給を行うための作業を行います。作業完了後、【NPF031】原子層堆積装置_1[FlexAL]（最大8インチ）でピュアオゾンを使用することが可能となります。

これに伴い下記の期間【NPF031】原子層堆積装置_1[FlexAL]と【NPF105】ピュアオゾン供給装置が下記の期間利用停止となります。作業状況により期間は延長される可能性があります。

6/12（金）～　6/23（火）

詳細は、装置担当までお問い合わせください。

山崎