【NPF102】原子層堆積装置_3[FlexAL] 　利用停止　期間未定

掲載日：2026年6月30日

ALD3でトラブルが発生しており、搬送ができません。
トラブル調査の結果、復旧には数か月かかるのではないかと思われます。

当面の間、【NPF102】原子層堆積装置_3[FlexAL] は　利用停止となります。
状況が分かり次第、お知らせを更新いたします。

詳細は、装置担当へお問い合わせください。

以上、よろしくお願いいたします。