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施設運転情報[NPF]

【NPF030】プラズマCVD薄膜堆積装置 利用停止

掲載日:2026年7月17日


配管の漏れが発生したため、修理が終わるまで利用を停止いたします。
ご迷惑おかけしますが、よろしくお願いいたします。
ユーザートレーニングは可能です。

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