有機ドラフト他の一時利用停止（局所排気装置メンテナンス）

掲載日：2026年9月1日

NPFユーザ各位

局所排気装置（有機ドラフト）のメンテナンス実施に伴い、下記の有機ドラフト等（5台）の利用を停止いたします。あわせて、i線露光装置作業用ドラフト（2台）につきましても利用停止となります。
期間中はリソグラフィー関連作業に影響が生じるなど、ご不便・ご迷惑をおかけいたしますが、ご理解とご協力のほどよろしくお願いいたします。

停止期間：2026年10月09日（金）09:00〜17:00

利用停止となる装置：
CR2
【NPF008】スピンコーター（フォト）
【NPF012】有機ドラフトチャンバー_右（フォト）
【NPF013】有機ドラフトチャンバー_左（フォト）
【NPF017】スマートウォーターバス[TB-1N]（フォト）
【NPF092】高圧ジェットリフトオフ装置
CR3
i線露光装置作業用ドラフト（2台）

ご質問・ご相談等は、装置担当・事務局にご連絡ください。

装置担当者：杉山・郭・増田・鈴木・木塚
事務局：tia-npf-ml@aist.go.jp

以上、宜しくお願いします。