【NPF081】プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN)　利用停止

掲載日：2026年9月9日

圧縮空気ラインに漏れが発生したため、直るまで利用を停止いたします。
ご迷惑をおかけしますが、よろしくお願いいたします。