【NPF019】多目的エッチング装置　利用再開のお知らせ

掲載日：2026年1月22日

Bias電源の不具合が解消しましたので利用を再開いたします。
不具合は解消していますが、しばらくの間はBiasのFWD値に注意をお願いいたします。
BiasのFWD値が設定値より大きくずれる場合は装置担当へご連絡お願いいたします。