【NPF019】多目的エッチング装置　利用停止のお知らせ

掲載日：2025年10月20日

【NPF019】多目的エッチング装置ですが、Bias電源の不具合のため、利用を停止させていただきます。ご迷惑をおかけしますが、よろしくお願いいたします。