NPF:ナノプロセシング施設
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施設運転情報[NPF]
【NPF068】MPMS EverCool定期メンテナンスのため利用停止します(6/22〜7/10)。
掲載日:2026年6月2日
MPMS EverCool定期メンテナンスに伴い、クライオスタットを室温に戻す期間とメンテナンス実施、動作確認の間利用を停止させていただきます。