純水装置メンテナンスのため断水【5/14 9:00～13:00】

掲載日：2024年4月19日

純水装置定期メンテナンスのため、下記の時間帯に一部の超純水供給が止まります。

日時: 2024年5月14日(火) 9:00～13:00　作業は午前中のみ
場所: CR2、CR3、CR4、EBリソ現像室

影響を受ける装置：
・【NPF014】【NPF112】有機ドラフトチャンバー(EB)
・【NPF012】【NPF013】有機ドラフトチャンバー(フォト)
・ＣＲ３室のドラフト

利用停止になる装置：
・【NPF054】ダイシングソー

超純水カートリッジの交換作業を行いますので、CR1を除く全エリアへの超純水供給が止まります。
CR1(酸ドラフト)も超純水カートリッジの交換を行いますが、純水の供給は止まりませんので
ご利用可能です。　交換作業時のみ周囲にご注意お願いします。

【NPF091】自動塗布現像装置、【NPF092】高圧ジェットリフトオフ装置は、
別系統の純水なので利用可能です。


装置担当：中島、杉山、木塚