物質・材料研究機構、東京科学大学、北海道大学、産業技術総合研究所は、令和３年度からスタートした文部科学省委託事業である「マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）」の一環として、『施設共用におけるALD成膜のユーザー事例紹介』というオンラインセミナーを2025年8月6日（水）にTeams配信により開催いたします。ARIM共用事業では、これまでの施設利用に加えて利用結果のデータベース化とそれらのデータの利活用が大きな事業目標となっています。
今回は、これまでの様々なALD成膜事例についてユーザー様からご紹介いただきます。また、データベースの閲覧環境が整いつつありますので、その閲覧方法やデータカタログの一部を紹介いたします。
セミナーリーフレット[PDF形式／138KB]