NPF:ナノプロセシング施設
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装置の紹介[NPF]
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装置の紹介[NPF]
【NPF070】X線回折装置(XRD)
名称
【NPF070】X線回折装置(XRD)
メーカー
リガク
導入年月日
仕様
試料形状やそれぞれの測定目的に応じて適切な光学系を容易に切り替えることが可能な高精度のX線回折装置です。平行ビーム法で薄膜測定光学系を僅かな手差しスリットの交換と測定プログラムの切り替えだけで簡単に設定することができます。通常、光学系は薄膜測定用に設定されています。
・型式:Ultima_III
・試料サイズ: 100mmφ×9mm
・試料ステージ:水平型(インプレーン測定機構付)
・試料形態:薄膜、バルク体、粉末
・ソフトウエア:定性分析、反射率