装置の紹介[NPF]

【NPF006】マスクレス露光装置

名称	【NPF006】マスクレス露光装置
メーカー	ナノシステムソリューションズ
導入年月日	2011-02-28
仕様	露光パターン発生用の空間光変調器にDMD(Digital Micromirror Device)を用いたマスクレス方式の露光装置です。フォトマスクを用いずに、CADデータ(GDSII形式)から直接、任意の形状を基板上のフォトレジストにパターニングすることができます。・型式:DL1000 ・試料サイズ:4インチφ、100mm□ ・光源:波長405nm(LED) ・露光最小画素:1μm□ ・最大露光領域:100mm□ ・重ね合わせ精度:±1μm