装置の紹介[NPF]
【NPF116】EB用自動現像装置（カナメックス）
| 名称 | 【NPF116】EB用自動現像装置（カナメックス） |
|---|---|
| メーカー | KANAMEX |
| 導入年月日 | 2025-04-01 |
| 仕様 | 試料サイズ：2～6インチ、小片10mm□、20ｍｍ□ レシピ数：100 現像：2系統（酢酸nアミル、TMAH2.38%） リンス：２系統（IPA、純水） 現像液温度制御：10～30℃ |
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| 名称 | 【NPF116】EB用自動現像装置（カナメックス） |
|---|---|
| メーカー | KANAMEX |
| 導入年月日 | 2025-04-01 |
| 仕様 | 試料サイズ：2～6インチ、小片10mm□、20ｍｍ□ レシピ数：100 現像：2系統（酢酸nアミル、TMAH2.38%） リンス：２系統（IPA、純水） 現像液温度制御：10～30℃ |