NPF:ナノプロセシング施設
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装置の紹介[NPF]
【NPF116】EB用自動現像装置(カナメックス)
名称
【NPF116】EB用自動現像装置(カナメックス)
メーカー
KANAMEX
導入年月日
2025-04-01
仕様
試料サイズ:2~6インチ、小片10mm□、20mm□
レシピ数:100
現像:2系統(酢酸nアミル、TMAH2.38%)
リンス:2系統(IPA、純水)
現像液温度制御:10~30℃